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FB101 & FB102
FB102
FB101
Auto Curve Tracer
最快速 : 3mSec / pin (作 open/short 時)
最高pin : 可達4096pins
操作簡便
且提供完整迅速價廉之DUT Board製作
RIE Plasma Etching System
(所有系列均可兩個recipes連續作用,且3種gas作用)
ES401
可達8”wafer
可針對sub-micron線路
Aspect Ratio可達10以上
ES371
可達6”wafer
ES301
可達3”wafer
針對1um以上線路
可先裝為Plasma Etching
機台日後再改回(省成本)
Auto Decap 機台
(22道防護措施,確保使用者之安全性)
PS102W
PS102S
BA101
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