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ASAP-1 定点硏磨机
定点硏磨机 ,且可边磨边知道已磨厚度
Resolution : 1 micron.
Able to do 3mm * 3 mm area.
ARC-lite Backside EMMI影像提升镀膜机
用特殊材料作镀模以便提高Backside EMMI操作时影像之清晰度.
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